STM6-LM顯微鏡擁有亞微米級的精度，實現(xiàn)了優(yōu)異的通用性，可對各種零部件和電子元件進行高性能的三軸測量。低倍率選項使之成為精密工具制造者的理想選擇。
 電氣系統(tǒng)一體型機體 |
著重考慮了儀器的空間利用性和操作方便性，在機體內(nèi)組裝了電氣系統(tǒng)，實現(xiàn)了計數(shù)器一體型機體。此外，在機體上內(nèi)置了RS232C數(shù)據(jù)通信接口，向電腦傳送數(shù)據(jù)和連接打印機等外部設(shè)備變得更加容易。不僅如此，還可以使用表計算軟件，將電腦讀取的數(shù)據(jù)存到數(shù)據(jù)庫。 |
 帶離合器的大型載物臺 |
搭載了250 mm×150 mm大測量范圍的載物臺。X、Y軸的驅(qū)動裝置采用了離合器控制機構(gòu)，只使用一個控制桿就能快速切換粗調(diào)和微調(diào)。載物臺的隨意伸縮，實現(xiàn)了大型樣品的快速檢查。另外，還可以在載物臺上放置多個樣品從而進行連續(xù)測量。 |
 FEM分析 |
剛性對于測量儀器的精度保持是最重要的，為了長時間維持儀器的精度不變，奧林巴斯開發(fā)出了堅固、不變形的高度剛性機體和載物臺。在導軌上采用了能得到高直度的線性引導機構(gòu)，還內(nèi)置了獨創(chuàng)的光柵尺。 |
 光柵尺 |
光柵尺的精度直接影響測量顯微鏡的精度。奧林巴斯采用獨創(chuàng)的高精度光柵尺讀取系統(tǒng)將光學信息轉(zhuǎn)化為電信息來測量。此外，奧林巴斯還根據(jù)阿貝定理（需要測量的長度和標尺，在其測量方向上并排成一條直線時，誤差最小）確定標尺的內(nèi)置位置，大程度的減少了誤差。 |
為了實現(xiàn)高精度的產(chǎn)品質(zhì)量，從制造到裝配的每一個階段，奧林巴斯都配備了日本國內(nèi)好的生產(chǎn)環(huán)境。在管理嚴格的恒溫工廠中，技能嫻熟的員工精密加工仔細挑選的原材料，精心打造每一件產(chǎn)品。此外，從零部件到成品，所有的生產(chǎn)步驟都實行了嚴格的溯源體系管理。
測量顯微鏡溯源體系圖
采用了電動調(diào)焦機構(gòu)，大幅度提高了調(diào)焦和測量高度、深度時的操作性能。使用Z控制器可以輕松切換粗調(diào)和4個級別的微調(diào)（800、400、200、50 μm），在很大程度上減輕了工作疲勞。
 Z軸控制器 |
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 計數(shù)器 |
計數(shù)器與顯微鏡機身一體化，它的顯示器部分與觀察員的視線幾乎等高，易于觀察。稍微移動視線就可以確認測量值，便于集中精神觀察樣品、調(diào)節(jié)樣品位置。 |
采用了有著高分辨率和高對比度的UIS2光學系統(tǒng)，以及能真實的再現(xiàn)樣品色彩、并且色調(diào)不受照明亮度影響的LED照明。這種設(shè)計大幅度提高了邊緣的可見性和測量能力、外觀檢查能力。此外，LED照明不會出現(xiàn)燈光閃爍不定和亮度變化，能減輕長時間工作時的眼部疲勞。
 白色LED |
 鹵素燈 |
 米字線 |
在測量顯微鏡中如何正確的對準測量物體和米字線是很重要的。直線校準時，與使用一根直線相比，使用米字線和虛線能得出更為正確的結(jié)果。奧林巴斯分析了人眼的這種特性和人眼的分辨能力，在焦面板上加入米字線和虛線，提高了對準的精度。 |
搭載了一鍵對焦和跟蹤對焦兩種模式。需要謹慎而細密的操作才能完成的目視測量高度和深度，通過靈活運用操作模式可以實現(xiàn)自動化。這樣，不僅消除了因個人差異產(chǎn)生的偏差，還能夠手不離開XY手柄完成觀察，大幅度提高了Z軸測量的效率。而且，因為屬于中間鏡筒類型，所以能夠購買之后續(xù)訂安裝。
【一鍵對焦模式】
在粗略對焦狀態(tài)下進行自動調(diào)焦，能在一瞬間將焦點對準視場中心。
【追蹤對焦模式】
在追蹤焦點位置的同時，始終保持對準焦點的狀態(tài)。測量時不需要重新調(diào)焦，提高了工作效率。
| 不同物鏡的自動調(diào)焦性能一覽表 | ||
| 物鏡 | 再現(xiàn)性能（2σn-1）※1 | 點直徑※2 |
| LMPLFLN20× | 2μm | ?5μm |
| LMPLFLN50× | 1μm | ?2μm |
| LMPLFLN100× | 1μm | ?1μm |
＊1 本公司標準樣品得出的值。
＊2 計算得出的理論值。
用于10×～50×物鏡，對應反射明視場和反射暗視場觀察。通過對齊投影在樣品上的圖標上下偏移，完成對高度的測量。與目視對焦相比，提高了重復性，減小了因個人差異產(chǎn)生的測量偏差。能對應多種樣品的圖標易于對焦，大幅度縮短了測量時間。
| 輔助聚焦系統(tǒng)示意圖 | ||
 前焦點位置 |
 焦點位置 |
 后焦點位置 |
 反射照明單元 |
備有3種反射照明單元，能對應多種測量范圍。對應測量物鏡和使用物鏡轉(zhuǎn)換器的金相物鏡，可以用于明視場、暗視場和微分干涉觀察?？梢愿鶕?jù)用途追加單元，升級系統(tǒng)。 |
 旋轉(zhuǎn)載物臺 |
易于對樣品進行平行校準。 |
 白色LED照明 |
白色LED光源不會出現(xiàn)燈光閃爍不定和亮度變化，壽命長、省電、小型輕巧、性價比高。 |
 可以分為4個獨立照明的LED照明裝置 |
以高色溫提供清晰影像的反射LED環(huán)形照明?？梢苑譃?個獨立的照明部分。共有13種照明模式，可以按需選擇最合適的照明模式。 |
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報告?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機。
 運算裝置 *MM6-CAL22在部分地區(qū)不銷售。 |
無需對樣品和載物臺進行平行校準，將樣品放入載物臺后能立即開始測量。只要輸入點數(shù)據(jù)就能進行2維運算處理，并在顯示器上顯示測量中的校準項目和測量項目的說明。測量結(jié)果由內(nèi)置打印機輸出 此外，可以將獲得的測量數(shù)據(jù)傳送到電腦，使用表計算軟件加工數(shù)據(jù)。 |
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